在半导体、光伏等高科技行业，气路系统的高效与稳定至关重要。今天，迈格诺科就带大家深入了解一种常用的气路方案-IGS（Integrated Gas System），看看它是如何凭借独特优势，为行业发展添砖加瓦的。

IGS：体积缩小的新方案

IGS 采用 W - seal 和 C - seal 两种密封方式，巧妙地将隔膜阀、单向阀、调压阀、过滤器、压力计、MFC 等流控器件与基座实现密封连接。这一创新设计带来的最大亮点，就是让气体面板的体积大幅缩小。对于寸土寸金的生产车间来说，IGS 无疑节省了大量的空间，为企业优化生产布局提供了便利。

超高纯工艺的密封垫片

IGS 单支模组的 W 和 C 型密封都属于金属密封，其 W - seal 和 C - seal 垫片由 316L 或 316L VAR 不锈钢制成，这可是符合超高纯工艺的优质材料。而且，这些垫片经过电解抛光处理，表面粗糙度 Ra≤0.13μm，完全符合 SEMI F19 UHP 标准。同时，密封面泄漏率≤1×10e - 9std・cm3/s，如此出色的密封性能，为气体的稳定输送提供了可靠保障。

W - seal：浮动结构的智能密封

W - seal 的基底采用浮动结构，这可是它的一大独特之处。当阀体下表面和基底上表面接触后，如果某侧出现缝隙，在螺钉锁紧时，浮动基底会自动调整，在一定程度上消除间隙，让密封面更好地贴合。其密封原理类似于 VCR 接头，依靠被密封件上的环形凸起挤压较软的垫片来实现密封。安装时，使用专用镊子能有效保证安装质量，确保 W - seal 发挥最佳性能。

C - seal：独特外形与便捷安装

C - seal 垫片的外形酷似字母 C，两端有平面凸台（密封面）。当安装到位时，垫片的上下表面与阀体的硬化表面接触，从而形成良好的密封。更值得一提的是，C - seal 垫片的支架可以帮助一次定位多个垫片，大大提高了安装效率。

IGS的显著特点

1. 模块化设计

IGS 采用模块化设计，大大缩短了设计时间。企业可以根据自身需求灵活组合各个模块，快速搭建出适合自己的气路系统。

2. 易于安装和维护

所有部件均按照 SEMI 标准（1.125 "W - seal/C - seal, 1.5" W - seal/C - seal）进行表面安装，使用简单的工具即可完成安装和维护工作，降低了企业的人力成本和维护难度。

3. 小型化优势

IGS 的尺寸约为传统面板的 1/3，相应的流道尺寸也减小了。这不仅节省了空间，还能更好地控制污染，提高气体输送的纯度和稳定性。

4. 先进工艺保障

采用电解抛光工艺和轨道焊接，保证了气路系统的密封性和耐腐蚀性。同时，使用镀银螺栓，防止螺纹连接咬死，而且螺栓被阀门上的孔夹紧，即使阀门倒置，螺栓也不会掉落，为系统的稳定运行提供了双重保障。

迈格诺科始终致力于为半导体、光伏等行业提供优质的气路解决方案。IGS 气路方案凭借其独特的设计、出色的性能和显著的优势，必将成为行业的新宠。迈格诺科深耕超纯气体精密加工模块领域，匠心打造精密零部件加工平台。我们提供IGSBlock模块、MFC基座、隔膜阀阀体及过滤器滤壳在内的一系列标准产品及非标定制服务。生产过程中，严控各工艺环节，确保每件产品品质卓越。并支持全程材料追溯，让客户对材料使用更放心。