UHP前驱体源瓶

 满足超高纯工艺,适用于超高纯应用
 浸润金属部件为SUS316L,广泛的化学兼容性
 外部机械抛光至镜面,内部电解抛光至粗糙度
 Ra≤0.25μm 
 (氦气):≤1.0x10 std cm /s
 连接尺寸:1/4" 至 1/2"
 连接方式:金属面密封接头
 提供多种容积定制服务

  • 尺寸参数
  • 产品特性

前驱体源瓶
       在ALD、CVD等半导体工艺制程中,选择合适的前驱体对工艺控制、薄膜性能等方面至关重要:同时根据前驱体特性,如挥发性、反应性等,配以合适的源瓶对工艺会有协同效应。迈格诺科全新系列源瓶组件通过对选材到成型工艺的高品质把控,能适应绝大部分前驱体封装存储,为整段沉积工艺提供绝佳的安全性和洁净度保障。

为半导体、生物制药和化学沉积行业提供可靠的流体介质存储及输送方案。

      我们提供 400 多种钢瓶型号,容积从 10 毫升到 100 升不等。并通过一系列清洁、改装和气瓶重新认证等业务为客户提供全方位产品服务。
目前,厂房面积有15000㎡,厂内建有通过第三方认证的千级及百级洁净间,并在百级洁净间内配有多套18兆超纯水清洗及气体抽烘置换装置,拥有前驱体源瓶设计、制造、测试、清洁和封装的全制程生产能力。
      目前产品已通过TUVPED4.3 认证,迈格诺科可以响应半导体、食品和制药行业的任何容器要求。如有需求,请致电我们了解更多信息。