应用于半导体和其他加工领域等高真空或超高真空系统中,对真空泵和腔体之间的闭合。 多种法兰接口连接方式CF、KF、ISO-K、ISO-F等
凭借坚固的设计和直接安装选项,以及分体式结构带来的简化维护,轻松满足所有标准要求
在驱动、法兰连接或额外真空接口方面的多种设计选择,使其易于集成到任何真空应用中
可集成客户定制的法兰以及特殊功能部件
寿命:10万次开启
标准闸板密封采用氟橡胶(FKM)制成的 O 形圈密封,如有要求也可提供其他密封材料