一体式方形铝制挡板阀
卓越的导热性使整个阀体温度均匀，并显著减少阀内气体的冷凝。
低释气性使得可以使用低功率泵，并且还能缩短排气时间。
工作压力：1x10-5Pa
大通量、小体积、（阀体）优异的抗氟腐蚀性能。
该阀门不含镍（Ni）或铬（Cr）等重金属，而且其低溅射率也有助于将半导体晶圆的重金属污染降至最低。
