超高纯度直线式气体过滤器。
316L不锈钢结构。
满足高温及动态压力工况应用。
紧凑的及可选终端接口设计。
产品特性流量范围广，从15至300 SLPM。
与大多数高纯半导体工艺气体具有优异的兼容性。
3纳米颗粒过滤精度，以最小的压降保持最高的流动效率。
内表面电解抛光处理，去离子水清洗后用热氮烘烤，达到半导体工艺标准。
百级洁净间制造、清洗及包装。
100%氦泄漏测试。
