W 形密封和 C 形密封简介
2024-07-19 16:51:55 来源：迈格诺科官网 游览：
W 形密封和 C 形密封用于半导体设备的模块化气体系统（IGS）通常由隔膜阀、单向阀、减压阀、过滤器、压力传感器、质量流量控制器和基块等元件组成。这些元件一般为表面安装式，其密封形式可分为 W 形密封和 C 形密封，选择合适的密封形式对确保系统的密封性能至关重要。那么 W 形密封和 C 形密封有什么异同？
W 形密封和 C 形密封的相同点
W 形密封和 C 形密封的不同点
C 形密封垫片的截面看起来像字母 “C”，两侧有两个扁平的凸台密封面。当适当拧紧时，垫片的顶部和底部分别受到表面安装元件（比如 C 形密封阀体）和基块硬化密封面的挤压，并形成密封。此外，在安装 C 形密封垫片时，可以使用支架一次性定位并安装多个垫片。
对于任何模块化气体系统（IGS），W 形密封或 C 形密封均可满足要求，但是由于执行不同的 SEMI 标准，因此密封垫片和密封面的结构不同，用户可以根据使用习惯和元件的密封形式选择相应的 W 形密封或 C 形密封。